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前三者生产区域是整个工厂的核心部分,负责将原材料转化为高纯度单晶硅锭,这一过程涉及多种复杂的工艺和高科技设备,大部分为自主研,目前正在研中。
在原材料处理区,主要对多晶硅进行处理。
多晶硅作为生产单晶硅的基础材料,其纯度直接影响最终产品的质量。
因此,该区域将配备高精度的净化设备,用于去除杂质,确保多晶硅的纯度达到电子级要求。
熔炼区是生产区的关键部分之一,主要任务是将多晶硅加热至熔化状态。
该区域配备了先进的感应炉或电阻炉,能够精确控制温度和气氛。
通过将多晶硅加热至约142o摄氏度左右,使其转变为硅液体,以便进行后续的晶体生长。
拉晶区是整个生产过程的核心,采用柴可拉斯基法进行单晶硅的生长。
在拉晶机的操作下,一个小的单晶硅种子(晶籽)缓慢地从熔融的硅液中拉起,同时旋转和升高,形成圆柱形的单晶硅锭。
拉晶过程需要精确控制温度、拉和旋转度,以确保晶体结构的完整性和均匀性。
至于切割区,已经属于机加工领域了,设备全部委外定制。
这里使用线切割机将硅锭切割成薄片,称为硅片。
这一过程要求极高的精度,以确保每片硅片的厚度一致,并最大限度地减少材料浪费。
切割后的硅片会经过清洗和表面处理,以去除切割过程中产生的微小颗粒和损伤。
检测区是生产区的最后一个环节,主要设备有光学显微镜、x射线衍射仪和电阻率测试仪等,用于检测硅片的结构缺陷、纯度和电学性能。
检测设备也是委外订购。
郝强对晶圆的纯度要求极高,所有车间均为砖混结构,高度和空间都有严格要求,而不是钢结构厂房。
若为防尘车间,室内要求恒温,员工穿着防尘服也不怕闷热。
湿度也有苛刻的要求,特别是防回潮。
所以,防尘车间都建有地下隔层防潮,楼顶和墙壁有多层隔热层。
这种防尘车间是没有窗的,工作时间久了也会闷。
4月3o日下午,郝强到车间考察设备地基。
机加工设备为了加工稳定,都会打钢筋混凝土地桩,免得附近通车通人时振动设备,影响加工精度。
建造车间时,地基有提前设计,但有改动的,就得重新建造地桩。
走了一圈,然后到机加工工厂。
生产图纸已经下到车间,也不知道加工得如何了。
炉体材料必须耐高温且化学性质稳定,不能与硅生反应。
常用的材料如石英玻璃、钨、钼等,这些材料的加工和处理难度较大。
“董事长,您来了。”
机加工车间主管看到郝强在观察炉体外壳,恭敬地打招呼。
“嗯,这外壳材料,你们检测过材料成分了吗?
做过耐腐蚀检测吗?”
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